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一種探針臺自動(dòng)定位方法的研究與實(shí)現
DOI:
CSTR:
作者:
作者單位:

(秦皇島視聽(tīng)機械研究所,河北 秦皇島 066000)

作者簡(jiǎn)介:

黃金蘭(1988-),女,浙江德清人,碩士,主要從事半導體專(zhuān)用設備方向的研究。[FQ)]

通訊作者:

中圖分類(lèi)號:

基金項目:


Research and Implementation of an Automatic Locating Method on Probe System
Author:
Affiliation:

(Qinhuangdao Audio-visual Machinery Research Institute, Qinhuangdao 066000, China)

Fund Project:

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    摘要:

    探針臺希望在上片后無(wú)需人工對準,就能從晶圓的第一個(gè)晶粒(第一點(diǎn))開(kāi)始檢測,然而晶圓上片后,探針下方的開(kāi)始位置往往并不是第一點(diǎn);為了讓第一點(diǎn)快速的移至探針下方,對平臺的運行軌跡進(jìn)行了研究,提出了螺旋定位法的概念,以平臺上開(kāi)始位置為中心,螺旋式步進(jìn)運行,配合鏡頭的圖像識別技術(shù),一步一識別,逐步擴大范圍,直至在鏡頭視野中找到晶圓中唯一的特殊晶粒(特殊點(diǎn));由于第一點(diǎn)與特殊點(diǎn)的位置相對固定,所以找到了特殊點(diǎn)即找到了第一點(diǎn);此方法經(jīng)過(guò)算法分析及整合編程后,進(jìn)行了多次試驗,并交付客戶(hù)使用,第一點(diǎn)都能快速移至探針正下方且長(cháng)時(shí)間運行穩定;此自動(dòng)定位方法不僅節省了人力成本,提高了定位精度,又大大地提升了探針臺的工作效率。

    Abstract:

    The probe system is always supposed to detect from the first grain of the wafer without manual alignment after wafer upload. However, the first position below the probe is often not ideal. In order to make the first grain below the probe quickly, spiral localization algorithm is coming out. The unique special grain of the wafer should be found first. The platform is treating the first position as the center and step moving spirally, the search range is extending step by step until find the special grain. Since the location of the first grain and the special grain is relatively fixed, so the first grain can be easily found after special grain. This method has carried on the experiment many times after integrate programmed. Now the whole system has already consigned to usage, the movements work well and stably, special grain can be found very quickly. After all, this automatic locating method not only saves labor costs, to improve the positioning accuracy, and greatly improve the efficiency of the probe system. 

    參考文獻
    相似文獻
    引證文獻
引用本文

黃金蘭,趙明宇,劉烽.一種探針臺自動(dòng)定位方法的研究與實(shí)現計算機測量與控制[J].,2016,24(2):261-263.

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歷史
  • 收稿日期:2015-08-27
  • 最后修改日期:2015-10-09
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  • 在線(xiàn)發(fā)布日期: 2016-07-27
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